这台场发射电子探针广泛应用于钢铁、汽车、电子零件和
电池材料等工业领域,主要用于固体材料微区成分的定性和定量分析,以及元素化学状态分析,尤其在轻元素(如C、Li)的微区元素分辨方面表现出色。设备参数包括加速电压范围1-30 kV,束流范围10??? - 3×10?? A,束斑尺寸在10 kV下不超过20 nm,二次电子(SE)分辨率为2.5 nm(30 kV),可分析元素范围为B5至U92,配备4道波谱仪。功能配置包括肖特基场发射电子枪、四道波谱仪、100和140 mm罗兰圆半径以及70 mm?电制冷能谱仪,能够提供高精度的微区成分分析。
场发射电子探针在钢铁、汽车、电子零件和电池材料等各种工业领域被广泛使用,可进行固体材料微区成分的定性和定量分析,以及元素化学状态分析等,尤其对于C、Li等轻元素,具备更加准确高效的微区元素分辨能力。