全自动台阶仪JS2000C/3000C
? 产品介绍
泽攸科技JS系列台阶仪作为国产高精度表面测量设备的代表,凭借其创新的技术架构、灵活的应用场景及可靠的测量性能,可以对微纳结构进行膜厚和台阶高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量,在高校、研究实验室和研究所、半导体和化合物半导体、高亮度LED、太阳能、MEMS微机电、触摸屏、汽车、医疗设备等行业领域有着广泛应用。
JS系列台阶仪通过金刚石探针与样品表面的接触扫描,将微观轮廓的垂直位移转化为电信号,结合高灵敏度传感器与信号处理算法,实现纳米级精度的表面特征捕捉。其核心技术亮点在于超微压力恒定控制系统,通过精密调节探针与样品间的接触压力,既避免了对软质材料的损伤,又确保了测量过程的稳定性。此外,设备搭载的摄像头实时成像系统,可同步观察样品区域与探针尖端的位置关系,辅助用户精确定位特征结构,显著提升测量效率。
作为国产科学仪器的突破性成果,JS系列台阶仪打破了国外品牌在高端表面测量设备领域的长期垄断,凭借高性价比与本地化服务优势,成为国内高校、科研机构及制造企业的优选设备。
? 特点
量测精确、功能丰富、一体式集成、模块化设计、售后便捷、极高性价比
? 应用范围
▲ 刻蚀、沉积和薄膜等厚度测量
▲ 各式薄膜等应力测量
▲ 3D扫描成像
▲ 计划任务和多点扫描
▲ 批量测试晶圆,批量处理数据等
? 技术参数