SEM纳米探针台
产品描述
泽攸科技SEM纳米探针台实现了三维空间上的精确定位,具有小尺寸大行程、高精度及易操作等优点,同时兼容高真空是扫描电镜重要的原位功能附件。根据不同实验需求,可将电学探针替换为光纤探针、纳米镊子、显微注射器等各类操纵选件和测量头。
? 产品介绍
三轴探针台由三个单轴运动台组合而成。一个SEM腔体内可安装多个三轴探针台。平台上可安装电学探针、光纤探针、纳米镊子、金刚石纳米力压头、显微注射器等各类操纵和测量头,实现微纳操纵和测量的目的。
标准配置包含:探针主体、适配SEM/FIB的底座、过真空法兰、探针控制器及控制手柄
选配:低温、高温样品台、光纤夹头和光纤真空馈通、EBIC套件
? 产品特点
▲ 结构紧凑,高刚性
▲ 零间隙,高精度柔性铰链导向系统
▲ 压电陶瓷位移平台具有超长使用寿命
▲ 内部根据需求可增加位置反馈
▲ 应用:
纳米材料操纵、纳米器件电学光电等物性测量、生物细胞DNA操作等
▲ 适配SEM:日本电子、 日立、FEI、 TESCAN等
? 主要参数