工作原理
FlexSEM 1000 II采用钨灯丝作为电子源,通过加热至约2700℃发射电子,经静电透镜聚焦形成细束(束斑直径≤60μm),以光栅扫描方式照射样品表面。二次电子(SE)或背散射电子(BSE)被探测器捕获,转化为图像信号,分辨率可达3nm(30kV,高真空模式),符合ISO 15708标准。
应用范围
该仪器适用于工业检测(金属裂纹分析、电子元器件失效定位)、材料科学(陶瓷/聚合物表面形貌观察)、教育科研(基础电镜操作教学)及地质矿产(矿物颗粒形态鉴定)等领域。其操作简便、维护成本低的特点,使其成为常规样品快速筛查与基础研究的理想工具。
产品技术参数
加速电压:0.3kV~30kV(连续可调)
分辨率:3nm(30kV,SE模式),10nm(1kV,低真空模式)
放大倍数:10×~1,000,000×(连续可调)
真空模式:高真空(<5×10??Pa)、低真空(50Pa~130Pa)
样品室:最大样品尺寸φ150mm(厚度≤50mm),支持多角度倾斜(0°~90°)
探测器:二次电子探测器(SE)、背散射电子探测器(BSE)
软件平台:日立Map 3D(支持自动对焦、图像拼接、EDS联用)
数据接口:千兆以太网、USB 3.0
电源:AC 100-240V(50/60Hz,功率≤1.5kW)
尺寸:1200mm×1000mm×1500mm(重量≤500kg)
产品特点
高性价比与易用性:钨灯丝源成本低,维护简单,适合常规检测与教学场景;
低真空模式兼容非导电样品:支持50Pa~130Pa环境,无需镀膜即可观察陶瓷、聚合物等样品;
大样品容量与灵活性:最大150mm直径样品台,支持多角度倾斜与原位拉伸附件;
智能化软件平台:日立Map 3D软件支持自动对焦、图像拼接、EDS成分映射与定量报告生成;
稳定与耐用性:长期束流稳定性±5%,配备自诊断系统与紧急停止功能;
安全防护设计:辐射防护罩、真空泄漏保护、数据加密存储,符合实验室安全规范;
合规认证:通过CE认证,符合ISO 15708标准。
FlexSEM 1000 II提供一年整机质保与灯丝更换服务,其经济、实用、稳定的特性,成为钨灯丝扫描电子显微分析领域的优质解决方案,助力用户实现从快速筛查到基础教学的全场景需求。