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聚集离子-电子双束显微镜

聚集离子-电子双束显微镜

289
规格/型号：暂无
品牌：集萃检测
应用领域：检测设备
产地：江苏 - 苏州
厂家/供应商：集萃检测技术服务有限公司
咨询电话:：13951998182（请说明信息源自“BBIN宝盈集团网”）
更新时间：2025-08-04
级别：待认证

聚集离子-电子双束显微镜说明介绍

聚集离子-电子双束显微镜

聚集离子-电子双束显微镜


用于金属、半导体等固体样品上制备微纳结构、精确定向制备高质量透射电镜样品等

主要用途

聚焦离子/电子双束电镜可用于金属、半导体等固体样品上制备微纳结构、精确定向制备高质量透射电镜样品等。结合附件可实现样品元素分布、相分布和晶粒取向等多种微观结构分析。

项目介绍

设备参数/指标

l 电子束和离子束最佳工作距离分辨率：

  ≤0.7 nm @ 1kV（非减速模式）

l Ga离子束分辨率：≤2.5 nm @ 30 kV

l EDS探测器能量分辨率：Mn Kα保证优于127 eV

l 元素分析范围：Be4～Cf98

l EBSD标定速率：在线标定速度高达400 点/秒

l 纳米机械手最小步长：≤50 nm

l 样品台倾转角度：-10°~60°

功能配置

l 内置二次电子/背散射电子探测器

l ICE 二次离子探测器 

l 铂/碳沉积气体

l 液态Ga离子源

l EDS/EBSD

l 三维重构
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标签：
电子双束显微镜 双束显微镜
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企业认证：
  
所属领域：
检测设备
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联系电话：
13951998182
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