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旋转PECVD系统

旋转PECVD系统

302
规格/型号:KJ-T1200-S80-DZPECVD-R
品牌:鸿炉机械
应用领域:材料制备
产地:河南 - 郑州
厂家/供应商:河南鸿炉机械设备有限公司
咨询电话::17737149370(请说明信息源自“BBIN宝盈集团网”)
更新时间:2025-07-24
级别:待认证

旋转PECVD系统说明介绍

旋转PECVD系统

设备介绍

该设备是一款定制的PECVD系统,增加了倾斜、旋转功能。该系统包含等离子射频电源,高温管式炉,4通道质量流量供气系统和分子泵机组。PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。 该系统广泛应用于沉积高质量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬质薄膜、光学薄膜和炭纳米管(CNT)、石墨烯材料等,是科研机构和大学实验室的理想产品。

产品优势

炉管可旋转

炉管采用定制变径炉管,管壁内带有石英拨料台,让物料受热更充分。炉管360℃旋转,旋转速度可调

成品质量好

PECVD具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等优点

智能多段PID可编程

温控系统采用PID智能化程序控温,自整定功能并可编制多段升降温程序

技术参数

产品名称 定制旋转PECVD系统

滑轨管式炉部分

产品型号 KJ-T1200-S80-DZPECVD-R

炉管尺寸 直径80*长度1600mm

可选其他直径Φ50,60,80,100,120,150mm

(其他尺寸可根据客户需求定制)

炉管材质 石英管

加热区 单温区,温区长度400mm(其他尺寸可根据客户需求定制)

工作温度 ≤1100℃

最高温度 1200℃

温控方式 N型热电偶

控制方式 触屏控制

控温精度 ±1℃

温控保护 具有超温和断偶保护功能

升温速率 建议≤10℃/min

加热元件 含钼电阻丝

炉膛材料 氧化多晶纤维

法兰接头 标配配有不锈钢真空法兰,已安装机械压力表和不锈钢截止阀

密封系统 该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,磁流体密封,气密性好可实现炉管旋转过程中的高真空。

真空系统部分

主要参数 采用高真空分子泵组,炉管内真空度可达10-3pa

气路系统部分

名称 四路质量流量计(量程可选)

等离子电源部分

功率范围 0-500W(连续可调)

售后服务 质保一年,终身保修(耗材类:高温密封圈、炉管、加热元件等及人为损坏不属于质保范围)

更多规格可根据客户需求定制
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