江苏苏青水处理工程集团有限公司
宣传

位置：BBIN宝盈集团 > 有色产品 >

有色金属设备

矿山设备

冶金设备

材料制备及加工设备

环境保护设备

分析检测设备

材料

> 分析检测设备

> 力学检测设备

> 晶圆翘曲应力测量仪

晶圆翘曲应力测量仪

晶圆翘曲应力测量仪

477
规格/型号：暂无
品牌：纳腾
应用领域：检测设备
产地：上海 - 上海
厂家/供应商：上海纳腾仪器有限公司
咨询电话:：021-6428 3335（请说明信息源自“BBIN宝盈集团网”）
更新时间：2025-07-07
级别：待认证

晶圆翘曲应力测量仪说明介绍

晶圆翘曲应力测量仪

晶圆翘曲应力测量仪


具备三维翘曲（平整度）及薄膜应力的检测功能，适用于半导体晶圆生产、半导体制程工艺开发、玻璃及陶瓷晶圆生产

优势

√ 全口径均匀采样测量，采样间隔较少可至0.1mm

√ 同时具备翘曲测量及应力测量功能

√ 直观展现薄膜导致的晶圆形变，可计算任意角度的曲率及应力

√ 强大的附加模块：薄膜应力变温测量模块（室温到500℃）

√丰富的软件分析功能，包括：三维翘曲图、晶圆翘曲参数统计（BOW，WARP等）、ROI分 析、薄膜应力及分布、应力随时间变化、薄膜应力变温测量、曲率计算、多项式拟合、空间滤波等多种后处理算法。

适用对象

2 - 8 英寸/12 英寸抛光晶圆（硅、砷化镓、碳化硅等）、图形化晶圆、键合晶圆、封装晶圆等；液晶基板玻璃；各类薄膜工艺处理的表面

适用领域

√ 半导体及玻璃晶圆的生产和质量检查

√ 半导体薄膜工艺的研究与开发

√ 半导体制程和封装减薄工艺的过程控制和故障分析

检测原理

√ 晶圆制程中会在晶圆表面反复沉积薄膜，基板与薄膜材料特性的差异导致晶圆翘曲，翘曲和薄膜应力会对工艺良率产生重要影响

√ 采用结构光反射成像方法测量晶圆的三维翘曲分布，通过翘曲曲率半径测量来推算薄膜应力分布，具有非接触、免机械扫描和高采样率特点，晶圆全口径测量时间低于30s

√ 通过Stoney公式及相关模型计算晶圆薄膜应力分布

晶圆翘曲应力测量仪
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
晶圆翘曲应力测量仪 检测设备
上一个： 便携式原子力显微镜 下一个： 内应力检测仪

与“晶圆翘曲应力测量仪”相关的产品

水质采样器
水质采样器
总磷总氮分析仪
总磷总氮分析仪
氨氮测定仪
氨氮测定仪
总磷水质在线分析仪
总磷水质在线分析仪
双层高低温试验箱
双层高低温试验箱
在线硬度分析仪
在线硬度分析仪
多参数水质测定仪（360°旋转比色）
多参数水质测定仪（360°旋转比色）
双温区COD消解仪
双温区COD消解仪
便携多参数水质测定仪
便携多参数水质测定仪
电脑式双柱拉(压)力试验机
电脑式双柱拉(压)力试验机

与“晶圆翘曲应力测量仪”相关的最新需求

全国热门有色金属设备推荐

江苏矿山设备 江苏选矿设备 北京矿山设备 北京选矿设备 江苏冶金设备 南京冶金设备 江苏火法冶金设备 合肥湿法冶金设备 江苏环境保护设备 南京环境保护设备 江苏废水处理设备 江苏大气治理设备 南京大气治理设备 江苏分析检测设备 北京分析检测设备 有色金属会议
上海纳腾仪器有限公司
企业认证：
  
所属领域：
检测设备
企业性质：
-
经营范围：
-
联系电话：
021-6428 3335
详细地址：
-

报名参会

2025中国矿物加工大会（CMPC）
2025中国矿物加工大会（CMPC）
辽宁 - 沈阳
2025年09月12日 ~ 14日
2025新能源金属提取冶金与循环利用技术交流会
2025新能源金属提取冶金与循环利用技术交流会
江苏 - 无锡
2025年09月19日 ~ 21日
第二届中国铅锌产业科技大会
第二届中国铅锌产业科技大会
云南 - 昆明
2025年09月25日 ~ 27日
第二届中国钠/锂电池材料大会
第二届中国钠/锂电池材料大会
湖南 - 长沙
2025年09月25日 ~ 27日
2025冶炼渣处置与利用大会
2025冶炼渣处置与利用大会
湖南 - 长沙
2025年09月26日 ~ 28日
碲产业报告2025
推广

推荐产品
更多+

真空铜锌分离炉
真空铜锌分离炉
标签：
真空铜锌分离炉 铜锌分
厂家：洛阳万峰工业炉有限公司
单锥螺带真空干燥机
单锥螺带真空干燥机
标签：
单锥螺带真空干燥机 真
厂家：燕加隆机械科技（江苏）有限公司
空心桨叶干燥机
空心桨叶干燥机
标签：
空心桨叶干燥机 干燥机
厂家：燕加隆机械科技（江苏）有限公司
电镀污泥烘干机
电镀污泥烘干机
标签：
电镀污泥烘干机 污泥烘
厂家：燕加隆机械科技（江苏）有限公司
母液干化机
母液干化机
标签：
母液干化机
厂家：燕加隆机械科技（江苏）有限公司
山东省章丘鼓风机股份有限公司
宣传

推荐企业
更多+

1杭州嘉悦智能设备有限公司
2赛默飞世尔科技
3河南川萍环保科技有限公司
4濮阳豫沪不锈钢制造有限公司
5南通联源机电科技股份有限公司
6重庆大重庆科技有限公司
7上海裕盈翰海特钢有公司
8重庆脑无限科技有限公司 (Chongqing Brain Infinity Technology Co., Ltd)
9山东威力重工机床有限公司
10重庆兆宏科技有限公司

最新更新产品

? 真空铜锌分离炉
2025-09-11
? 单锥螺带真空干燥机
2025-09-11
? 空心桨叶干燥机
2025-09-11
? 电镀污泥烘干机
2025-09-11
? 母液干化机
2025-09-11
? 氯化钠废水蒸发器
2025-09-11
? 硫酸铵蒸发器
2025-09-11
? 废水蒸发结晶器
2025-09-11
? 多效蒸发器
2025-09-11
? 三效蒸发器
2025-09-11
安徽霍桐仪器有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
店铺认领信息登记